科技日报讯 （记者陈曦 通信员梁邵楠）记者6月27日从天津年夜学获悉，该校精仪学院感知科学与工程系传授黄显团队打破微型LED（发光二极管）晶圆测试瓶颈，经由过程“柔性触手+智能之眼”组合拳，实现微型LED晶圆高通量无损测试。相干研究结果近日发表在国际期刊《天然·电子学》。
据先容，微型LED被认为是下一代高端显示技能的焦点元件。然而，其高密度、微米级的布局特性，对于搭载微型LED的晶圆载体系体例造良率带来了严苛挑战，若没法保障终极产物的100%良率，将会给终端产物造成巨年夜修复成本。以是，对于微型LED晶圆的测试非分特别主要。
而传统刚性测试探针如“铁笔刻玉”，一旦与晶圆接触，将会造成晶圆外貌不成逆的物理毁伤。经常使用的视觉外貌缺陷丈量及光致发光检测要领又只能不雅其年夜概，存于较高漏检率及错检率。是以，怎样实现微型LED晶圆从出产到终端集成的全历程良率检测，一直是困扰业界的难题，也关乎年夜面积显示屏、柔性显示屏等基在微型LED的终端产物量产。
研究团队创始性地提出了一种“以柔克刚”的LED晶圆无损检测新要领。这项技能如同给检测装备装上了“柔性手指”——由弹性微柱阵列及可延展电极构成的探针体系，可以或许像指纹般完善贴合晶圆外貌1—5微米的高度差，并且仅用0.9兆帕的柔柔压力就能完成精准丈量。
这类“温柔”的检测方式揭示出惊人的耐用性：于履历100万次接触后，探针依然无缺如新，寿命是传统刚性探针的10倍。“秘密于在其怪异的三维减压布局，就像给探针穿上了‘缓冲气垫’。”黄显先容，纵然于100微米的极限形变下，探针的内部应力也始终安全可控。经由过程切确调节制造工艺参数，研究职员确保了每一一根探针都具有完善的匹配精度，为巨量LED检测提供了全新解决方案。
研究团队还有自立研发了配套的智能检测体系。这套体系就像给柔性探针装上了“火眼金睛”——经由过程怪异的球形调平装配确保探针与晶圆完善平行，共同同轴光路及时捕获LED点亮状况，同步完成电学参数及接触压力的精准丈量。
此外，团队还有乐成研制出针对于微型LED的100×100高密度柔性探针阵列，可轻松应答10×30微米的超小尺寸检测，为下一代高速晶圆检测摊平了门路。这套“柔性触手+智能之眼”的组合拳，为微型LED的工艺优化及品质把控提供了强盛东西。该技能不仅解决了LED财产痛点，更为繁杂晶圆检测斥地了新路径。
今朝，这项结果已经启动财产化进程，将来将为海内LED行业提供批量化、低成本的检测方案。值患上一提的是，该技能还有为加强实际（AR）、虚拟实际（VR）高端显示面板的良率晋升奠基了基础。
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